光学干涉仪原理(5-10种)_光学干涉仪:测量微小位移的高精度工具
2023-12-21【简介】 光学干涉仪是一种测量微小位移的高精度工具。它利用光的干涉原理来测量物体的位移、形变等微小变化,广泛应用于制造、科研等领域。本文将从多个方面介绍光学干涉仪的原理及其应用。 【小标题1:干涉仪的基本原理】 1.1 光的干涉现象 光的干涉是指两束或多束光线相遇后,由于相位差的存在,会出现明暗相间的干涉条纹。这是光的波动性质的表现。 1.2 干涉仪的构成 干涉仪主要由光源、分束器、反射镜、透镜、干涉仪体和检测器等部分组成。其中,分束器将光分为两束,分别经过不同的光程后再合成,形成干涉条纹。